전처리를 하지 않고, 배기 가스 중의 SO3 농도를 정확하고 신속하게 계측할 수 있는 SO3 분석 장치 및 분석 방법을 제공하는 것에 있다. SO3 및 CO2 및 H2O를 포함하는 배기 가스(1)에 대하여, 레이저광(2)을 조사하는 광원(11)과, 배기 가스(1)에 조사된 상기 레이저광(2)을 수광하는 수광기(13)와, 광원(11)이 조사하는 상기 레이저광(2)의 파장을 4.060㎛~4.182㎛로 제어하는 제어 장치(14)의 광원 제어부(14a)와, 수광기(13)로부터의 출력과 광원 제어부(14a)로부터의 참조 신호를 기초로 적외 분광법에 의해 SO3 농도를 연산하는 제어 장치(14)의 농도 연산부(14b)를 구비하도록 했다.
대표청구항
SO3 및 CO2 및 H2O를 포함하는 가스에 대하여, 레이저광을 조사하는 조사 수단과,
상기 가스에 조사되어 상기 가스를 투과한 레이저광을 수광하는 수광 수단과,
상기 조사 수단이 조사하는 상기 레이저광의 파장을, 4.060㎛~4.182㎛대의 SO3의 흡수 파장으로 제어하는 파장 제어 수단과,
상기 수광 수단으로부터의 출력과 상기 파장 제어 수단으로부터의 참조 신호를 기초로 적외 분광법에 의해 SO3 농도를 연산하는 SO3 농도 연산 수단과,
상기 가스 중의 H2O 농도를 계측하는 H2O 농도 계측 수단과,
상기 SO3 농도 연산 수단에 의해 산출한 SO3 농도와, 상기 H2O 농도 계측 수단이 계측한 H2O 농도를 이용한 평형 계산에 의해, H2SO4 농도를 연산하는 H2SO4 농도 연산 수단
을 구비하는 것을 특징으로 하는 SO3 분석 장치.
WIPS 패밀리
KR 10-2001751 B1 | US 10101270 B2 | EP 3264067 A1 | IN 201717032513 | CN 107430068 A | JP 2016-191616 A | WO WO2016-158895 A1